プラズマ処理加工 *装置セットアップ基本料金(別途¥12,500)+以下の料金となります*ワークサイズやプロセスにより価格が変ります |
デスミア処理
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金メッキ前処理
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濡れ性改善
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*ワークサイズは500×430×7 以内となります(*上記以上のサイズに関しましてはご相談下さいませ)
*QC(品質保証)ツール
弊社は、プラズマプロセスをモニターするために専用の測定用チップを用います。測定用チップは、シリコンウエハ上に液状レジストを塗布し、ベークしたチップです。光干渉型膜厚計にてプラズマ処理前、処理後の測定用チップの膜厚差を比較し評価測定します。
削れ量=(未処理測定用チップ膜厚)ー(プラズマ処理測定用チップ膜厚)
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