有限会社 Surfclean
プラズマ処理加工 ＊装置セットアップ基本料金（別途￥12,500）＋以下の料金となります |
デスミア処理
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金メッキ前処理
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濡れ性改善
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*QC（品質保証）ツール
弊社は、プラズマプロセスをモニターするために専用の測定用チップを用います。測定用チップは、シリコンウエハ上に液状レジストを塗布し、ベークしたチップです。光干渉型膜厚計にてプラズマ処理前、処理後の測定用チップの膜厚差を比較し評価測定します。
削れ量＝（未処理測定用チップ膜厚）ー（プラズマ処理測定用チップ膜厚）
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