プロセス提案 |
立ち会いデモ処理 (3時間)
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立ち会いデモ処理 (6時間)
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出張プロセス診断(生データ、解析資料作成)
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*QC(品質保証)ツール
弊社は、プラズマプロセスをモニターするために専用の測定用チップを用います。測定用チップは、シリコンウエハ上に液状レジストを塗布し、ベークしたチップです。光干渉型膜厚計にてプラズマ処理前、処理後の測定用チップの膜厚差を比較し評価測定します。
削れ量=(未処理測定用チップ膜厚)ー(プラズマ処理測定用チップ膜厚)
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